型       號

檢測對象氣體

 H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3

檢測原理

熱線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

檢測氣體名稱

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣

AsH₃    PH₃       B₂H₆      SiH₄       H₂

可檢測泄漏量

H_{2：5.07×10-7、}AsH_{3 ：2.53×10-7、}B₂H_{6:1.01×10-7、}   SiH_{4:2.53×10-7、}PH_{3:1.52×10-7、}

可檢測濃度

（單位：ppm）

AsH_{3 ：}0.5   PH_3: 0.3   B₂H_6: 0.2    SiH_4: 0.5   H_2： 1.0

反應時間

10秒以內

電源（額定）

5號堿性干電池(LR6)2節

電池使用時間

約12小時（5號堿性干電池、25℃時）

保護等級

相當于IP22

使用壓力范圍

大氣壓（800-1100hPa）

使用溫度范圍

0-40℃/85%RH以下（但是，不能結露）

尺寸

約W38×H130×D32mm（突出部分除外）

重量

約190克（含電池、皮套）